1、直線運(yùn)動定位精度檢測
直線運(yùn)動定位精度一般都在機(jī)床和工作臺空載條件下進(jìn)行。按標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)化組織的規(guī)定(ISO標(biāo)準(zhǔn))，對數(shù)控機(jī)床的檢測，應(yīng)以激光測量為準(zhǔn)。在沒有激光干涉儀的情況下，對于一般用戶來說也可以用標(biāo)準(zhǔn)刻度尺，配以光學(xué)讀數(shù)顯微鏡進(jìn)行比較測量。但是，測量儀器精度必須比被測的精度高1~2個(gè)等級。
為了反映出多次定位中的全部誤差，ISO標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定每一個(gè)定位點(diǎn)按五次測量數(shù)據(jù)算平均值和散差，散差帶構(gòu)成的定位點(diǎn)散差帶。
2、直線運(yùn)動重復(fù)定位精度檢測
檢測用的儀器與檢測定位精度所用的相同。一般檢測方法是在靠近各坐標(biāo)行程中點(diǎn)及兩端的任意三個(gè)位置進(jìn)行測量，每個(gè)位置用快速移動定位，在相同條件下重復(fù)7次定位，測出停止位置數(shù)值并求出讀數(shù)差值。
3、直線運(yùn)動的原點(diǎn)返回精度檢測
原點(diǎn)返回精度，實(shí)質(zhì)上是該坐標(biāo)軸上一個(gè)特殊點(diǎn)的重復(fù)定位精度，因此它的檢測方法完全與重復(fù)定位精度相同。
4、直線運(yùn)動的反向誤差檢測
直線運(yùn)動的反向誤差，也叫失動量，它包括該坐標(biāo)軸進(jìn)給傳動鏈上驅(qū)動部位(如伺服電動機(jī)、伺趿液壓馬達(dá)和步進(jìn)電動機(jī)等)的反向死區(qū)，各機(jī)械運(yùn)動傳動副的反向間隙和彈性變形等誤差的綜合反映。誤差越大，則定位精度和重復(fù)定位精度也越低。
5、回轉(zhuǎn)工作臺的定位精度檢測
測量工具有標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)臺、角度多面體、圓光柵及平行光管(準(zhǔn)直儀)等，可根據(jù)具體情況選用。測量方法是使工作臺正向(或反向)轉(zhuǎn)一個(gè)角度并停止、鎖緊、定位，以此位置作為基準(zhǔn)，然后向同方向快速轉(zhuǎn)動工作臺，每隔30鎖緊定位，進(jìn)行測量。
考慮干式變壓器到實(shí)際使用要求，一般對0、90、180、270等幾個(gè)直角等分點(diǎn)進(jìn)行重點(diǎn)測量，要求這些點(diǎn)的精度較其他角度位置提高一個(gè)等級。